迈铸半导体正式推出MEMS芯片级线圈产品

来源：中关村在线　2023-05-04 17:58:06

【资料图】

螺线(Solenoid)线圈在电子行业的众多领域都有着极广泛的应用:在传感器中,可作磁通门或者巨磁阻的激励线圈、电流传感器的感应线圈等;在执行器中,可用于微驱动,例如智能手机中触觉反馈Taptic Engine、手机摄像头变焦和电磁推杆等;在能量采集器中,可用于电磁式振动能量采集器的线圈;在功率电子器件中,可用作扼流的共模线圈,也可用作传导电能的变压器和功率电感;在射频系统中,用于频率发生、信号发射和接收等功能。

螺线线圈由著名的物理学家安培于1820年发明,其本质上可以看作是一个电磁相互作用的放大器。螺线线圈发明已经有200多年,除部分用叠层工艺和半导体薄膜工艺外,目前线圈主要还是由漆包线绕制而成。因为作为一种复杂的三维金属结构,毫米级螺线线圈在晶圆上的批量制造极具挑战性。

△ 基于MEMS线圈的可发电手表

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