美光:将引入极紫外光刻机 并预计2024年部署于部分工艺节点

据外媒报道,美光科技CEO兼总裁桑杰·梅赫罗特拉(Sanjay Mehrotra)在2021财年第三财季的财报分析师电话会议上透露,公司将引进极紫外光刻机,并且在2024年在部分工艺节点上进行部署。

事实上,美光科技此前就曾表示他们将引入极紫外光刻机。桑杰·梅赫罗特拉在会上就提到,他们曾多次表示,当他们认为极紫外光刻机及生态系统变得更成熟的时候,他们就将在适当的时间点引入极紫外光刻机。

值得注意的是,美光科技并不是首家引入极紫外光刻机的存储芯片制造商,SK海力士就已在他们的M16工厂部署极紫外光刻机。

在2月份就开始试产1anm的DRAM,并预计在今年7月份开始大规模生产。

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