盛美半导体设备上海临港研发及生产中心项目正式启动

近日,临港新片区集成电路产业领域不断传来好消息。昨天,盛美半导体设备(上海)股份有限公司位于临港新片区的上海临港研发及生产中心项目正式启动。12月28日,积塔半导体特色工艺生产线首台光刻设备搬入临港工厂,标志着积塔半导体从建设期向生产运营期迈出重要一步,为2020年底实现批量生产打下基础。

图说:盛美半导体设备公司正式启动临港研发及生产中心项目。主办方供图

盛美公司是首家赴美上市的中国半导体设备公司,致力于为集成电路制造业提供先进的晶圆清洗和湿法加工设备,形成了以清洗机、电镀机和先进封装湿法设备为主的产品线。此次启动的临港研发及生产中心项目由盛美上海公司在临港的全资子公司运营,该项目已纳入盛美全球化发展的整体布局,将建设成为盛美全球主要研发及生产基地。

上海积塔半导体特色工艺生产线项目是上海市重大工程,总投资359亿元。该项目位于临港装备产业区,占地面积23万平方米,建成投产后,将进一步帮助完善临港与上海打造集成电路产业高地布局,发挥产业集聚效应,加快建设具有国际竞争力的综合性产业集群。

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